潔凈室(Clean Room),也可以稱為無塵室,是指將一定空間范圍內的空氣中的灰塵微粒、有害氣體、細菌等污染物排除,并將室內的潔凈度、壓力、溫度、濕度、氣流(速度、分布)、噪音、照度、靜電進行控制,甚至光源的波長都需要在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
潔凈室目前在電子信息產業、光電產業、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空等眾多行業均有應用。根據行業的特點與制程要求,無塵室規格會針對行業特定有所不同。在工業領域應用的工業潔凈室主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染。內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)、LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
另外,按照根據潔凈室內氣流的方向的不同,還能夠將其分為亂流式、層流式和復合式。
亂流式
氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。換氣次數決定凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
層流式
空氣氣流運動成均勻之直線形。層流無塵式靠層流式氣流將臟空氣置換,此型式適用于潔凈等級需定較高之環境使用,一般其等級為Class 1~100。其型式可分為兩種。
水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在氣流下游側污染較嚴重。
垂直層流式:空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在工藝或者工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
混合式
將亂流式和層流式復合或并用,能為不同區域提供不同要求的空氣。在運輸通道中,提高HEPA或者ULPA過濾器的覆蓋率能夠將該區域的潔凈度等級提高至10級以上;在并裝局部無塵室,使用隔間墻、Divider等將區域隔開,在要求高的區域,提高HEPA或ULPA覆蓋率,并采用不混亂的回風方式,能達到較高的潔凈度。